离子束流: >650 mA; 离子动能: 100-1200 V; 中和器: 灯丝, 流量 (Typical flow): 2-30 sccm.
加热灯丝产生电子, 增强设计输出高质量, 稳定的电子流.
离子源采用模块化设计, 方便清洁/ 保养/ 维修/ 安装.
无需水冷, 降低安装要求并排除腔体漏水的几率, 双阴极设计.
伯东美国 KRI 考夫曼离子源 KDC 160 技术参数：
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离子源型号 |
离子源 KDC 160 |
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Discharge |
DC 热离子 |
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离子束流 |
>650 mA |
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离子动能 |
100-1200 V |
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栅极直径 |
16 cm Φ |
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离子束 |
聚焦, 平行, 散射 |
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流量 |
2-30 sccm |
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通气 |
Ar, Kr, Xe, O2, N2, H2, 其他 |
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典型压力 |
< 0.5m Torr |
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长度 |
25.2 cm |
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直径 |
23.2 cm |
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中和器 |
灯丝 |
* 可选: 可调角度的支架
伯东 KRI 考夫曼离子源 KDC 160 应用领域:
1. 溅镀和蒸发镀膜 PC
2. 辅助镀膜(光学镀膜)IBAD
3. 表面改性, 激活 SM
4. 离子溅射沉积和多层结构 IBSD
5. 离子蚀刻 IBE
伯东是德国 Pfeiffer 真空泵, 检漏仪, 质谱仪, 真空计, 美国 KRI 考夫曼离子源, 美国HVA 真空阀门, 美国 inTEST 高低温冲击测试机, 美国 Ambrell 感应加热设备和日本 NS 离子蚀刻机等进口知名品牌的指定代理商.
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