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伯东 KRI 射频离子源 RFICP 应用于离子刻蚀 IBE

伯东 KRI 射频离子源 RFICP 应用于离子刻蚀 IBE
离子刻蚀是利用众所周知的阴极溅射效应对表面进行选择性的剥离加工. 由于轰击粒子小和离子刻蚀过程的计量极为精确, 因此, 用这种
2020-08-20 17:56 伯东企业（上海）有限公司 [未核实]

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